一、仪器用途
TBM-800 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置，透反射照明采用“柯勒”照明系统，视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片)，视场大而清晰。配置大移动范围的载物台，能快速和慢速移动。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带锁紧和限位装置，微动格值:2μm。6V 20W卤素灯,亮度可调。三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察，可进行100%透光摄影。不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机显示屏幕上观察实时动态图像，并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
三、技术参数
1.目镜
类型 放大倍数 视场(mm)
大视野目镜 10X φ18
2.物镜
类别 放大倍数 孔径数值 工作距离(mm)
长距平场消色差物镜 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.0
80x 0.80 1.2
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目镜,倾斜30?,(内置检偏振片,可进行切换)
5.五孔转换器 (外向式滚珠内定位)
6.载物台:三层机械移动式，尺寸: 250mmX230mm,移动范围: 154mmX154mm
7.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
8.照明系统：6V 20W卤素灯,亮度可调；带视场光栏、孔径光栏,起偏振片,,
9.滤色片组：(黄,蓝,绿,磨砂)
10.特有防霉系统
四、系统组成
(TBM-800):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-800型:50—3500倍
六、选购件
1.目镜:16X 10X分划 2.物镜:50X 60X 100X 3.二维测量软件 |
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